990,5% υψηλής καθαρότητας PSA Generator οξυγόνου για την παραγωγή ημιαγωγών

Συσκευή παραγωγής οξυγόνου PSA(Γεννήτρια οξυγόνου με προσρόφηση κυματισμού υπό πίεσηΗ τεχνολογία αυτή βασίζεται στην υψηλής ακρίβειας τεχνολογία προσρόφησης κυματισμού πίεσης (PSA).επιτυγχάνεται βαθύς καθαρισμός μέσω διπλοστρωτών μοριακών φίλτρων (συνήθιστα μοριακά φίλτρα + μοριακά φίλτρα υψηλής καθαρότητας) για την παραγωγή οξυγόνου υψηλής καθαρότητας με συγκέντρωση άνω του 990,5%.

Διαθέτει βασικά πλεονεκτήματα όπως σταθερή καθαρότητα, υψηλή καθαρότητα, αξιόπιστη λειτουργία και μηδενικές εκπομπές ρύπων,που μπορεί να ανταποκρίνεται στις αυστηρές απαιτήσεις καθαρότητας και καθαρότητας του οξυγόνου σε διεργασίες όπως η οξείδωση και η εναπόθεση λεπτών ταινιών κατά την κατασκευή ημιαγωγώνΩς η κορυφαία διαμόρφωση γιακαθαρότητα οξυγόνου, οι προσμείξεις (αζώτο, υγρασία, διοξείδιο του άνθρακα κλπ.) στο οξυγόνο που παράγεται από τον εξοπλισμό αυτό ελέγχονται όλες κάτω από το επίπεδο ppm,αποφυγή μείωσης της απόδοσης των τσιπ που προκαλείται από ανεπαρκή καθαρότητα οξυγόνουΕίναι ένας απαραίτητος βασικός εξοπλισμός παροχής οξυγόνου για την κατασκευή ημιαγωγών.

Η παραγωγή ημιαγωγών αντιπροσωπεύει το αποκορύφωμα της κατασκευής ακριβείας, με τις διαδικασίες των τσιπ να έχουν εισέλθει στην κλίμακα των νανομέτρων (5nm, 3nm).υποβάθμιση της απόδοσηςΤο οξυγόνο χρησιμοποιείται κυρίως σε βασικές διεργασίες όπως η οξείδωση (σχηματίζοντας στρώματα μόνωσης SiO2) και η χημική αποσύνθεση ατμών (CVD) στην κατασκευή ημιαγωγών.Η καθαρότητα του οξυγόνου επηρεάζει άμεσα την ομοιομορφία του πάχους του στρώματος μόνωσης, προσκόλληση ταινίας, και ηλεκτρική απόδοση τσιπ.

Το συνηθισμένο βιομηχανικό οξυγόνο (93% καθαρότητα) περιέχει ακαθαρσίες όπως άζωτο και υγρασία που μπορούν να σχηματίσουν ελαττώματα στην επιφάνεια του τσιπ, οδηγώντας σε μείωση της απόδοσης κατά 10-20%· σε αντίθεση, 99.Το 5% υψηλής καθαρότητας οξυγόνο μπορεί να ελέγχει την περιεκτικότητα των προσμείξεων κάτω από το επίπεδο ppm, αποφεύγοντας αποτελεσματικά το σχηματισμό ελαττωμάτων και διασφαλίζοντας ότι η απόδοση των τσιπ παραμένει σταθερή πάνω από 90%.Συσκευή παραγωγής οξυγόνου PSAΗ ατμόσφαιρα μπορεί να απομακρύνει βαθιά τις ακαθαρσίες όπως το άζωτο, την υγρασία και το διοξείδιο του άνθρακα από τον αέρα.καθαρότητα οξυγόνουΗ ακρίβεια ελέγχου υπερβαίνει κατά πολύ αυτή των παραδοσιακών εξοπλισμού παραγωγής οξυγόνου, ικανοποιώντας πλήρως τις απαιτήσεις της διαδικασίας παραγωγής ημιαγωγών.

Επιπλέον, η κατασκευή ημιαγωγών έχει εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις για καθαρότητα οξυγόνου.5 μm ανά κυβικό πόδι αέρα). τοΣυσκευή παραγωγής οξυγόνου PSAείναι εξοπλισμένο με σύστημα φιλτραρίσματος αερίων υψηλής απόδοσης, το οποίο μπορεί να φιλτράρει μικροσκοπικά σωματίδια οξυγόνου, αποφεύγοντας τη μόλυνση των σωματιδίων στην επιφάνεια του τσιπ και διασφαλίζοντας περαιτέρω την ποιότητα του τσιπ.

Κατά την αγοράΣυσκευή παραγωγής οξυγόνου PSA, οι εταιρείες ημιαγωγών πρέπει να τηρούν τέσσερις βασικές αρχές: "επαρκής καθαρότητα, συμβατότητα καθαρών δωματίων, σταθερότητα και αξιοπιστία και πλήρη προσόντα προμηθευτών".

• Όσον αφορά την καθαρότητα, είναι επιτακτική ανάγκη να επιλέγονται εξοπλισμοί με καθαρότητα οξυγόνου ≥ 99,5% και περιεκτικότητα σε προσμείξεις που πληρούν τις απαιτήσεις της διεργασίας των ημιαγωγών,και να απαιτούν από τους προμηθευτές να παρέχουν εκθέσεις δοκιμών τρίτων (όπως η SGS, ITS)
• Όσον αφορά τη συμβατότητα καθαρού δωματίου, είναι αναγκαίο να επιβεβαιωθεί ότι η καθαρότητα των αερίων εξόδου του εξοπλισμού είναι ≥ κλάση 100 και ότι το περίβλημα του εξοπλισμού πληροί τις απαιτήσεις εγκατάστασης καθαρού δωματίου.
• Όσον αφορά τη σταθερότητα και την αξιοπιστία, πρέπει να δίνεται προτεραιότητα σε προϊόντα με χρόνο συνεχούς λειτουργίας ≥ 8.000 ώρες/έτος και εγγύηση για βασικά εξαρτήματα ≥ 3 έτη.
• Οι προμηθευτές πρέπει να έχουν τα κατάλληλα προσόντα.Εγκατάσταση οξυγόνου με βάση το PSAτα προσόντα παραγωγής, την πιστοποίηση του συστήματος διαχείρισης ποιότητας ISO9001 και τις σχετικές πιστοποιήσεις του κλάδου των ημιαγωγών (όπως η πιστοποίηση SEMI),και να τους απαιτήσει να παρέχουν επιτυχημένες περιπτώσεις στη βιομηχανία ημιαγωγών

Οι προμηθευτές θα πρέπει να είναι σε θέση να παρέχουν 24/7 τεχνική υποστήριξη, τακτική επιτόπια συντήρηση,και ταχεία προμήθεια ανταλλακτικών για τη μακροπρόθεσμη σταθερή λειτουργία του εξοπλισμού.

Με το πλεονέκτημα της υψηλής καθαρότητας 99,5%, τοΣυσκευή παραγωγής οξυγόνου PSAΗ ακριβής ρύθμιση της καθαρότητας, η καθαρή παραγωγή αερίου,και σταθερές λειτουργικές επιδόσεις μπορούν να παρέχουν αξιόπιστη υποστήριξη παροχής οξυγόνου για τις διεργασίες ημιαγωγών, καθιστώντας το βασικό εξοπλισμό για τις επιχειρήσεις παραγωγής τσιπ για τη βελτίωση της απόδοσης και τη μείωση του κόστους.